선문대학교(총장 황선조)와 미국 실리콘밸리 웨이퍼마스터즈(대표 유우식)는 17일 충남 아산 선문대에서 공동기술 개발을 위한 협약을 맺었다.

이날 협약식에는 황선조 선문대 총장, 김대욱 공과대학장, 윤기용 산학협력단장, 임형택 국제교류처장과 유우식 CEO, 김정곤 부장이 참석했다.

이번 협약을 통해 선문대는 연구 공간, 시설 및 연구 인력을 제공하고, 웨이퍼마스터즈에서는 측정 및 검사 장비 3대와 연구비를 지원해 디스플레이용 비파괴 검사 기술을 공동으로 개발할 예정이다.

웨이퍼마스터즈는 미국 실리콘밸리에 있는 기업으로 나노 반도체 공정에 사용되는 열처리 장비와 계측 장비 등을 생산하는 기업이다.

일본 구마모토현에 생산 공장과 연구소가 있지만, 한국에 연구소를 추가 설치하기 위해 선문대와 협약을 맺었다.

웨이퍼마스터즈에서 지원하는 장비는 나노 반도체 공정에서 사용하는 웨이퍼 비파괴 검사 장비로서 12인치(300mm) 반도체 웨이퍼에 있는 미세패턴의 결함을 검사하는 첨단 장비다.

선문대 차세대반도체기술연구소 김호섭 소장은 " 검사 장비는 반도체 및 디스플레이 분야에서 활용범위가 확대되고 있어 지역산업체 연구개발에 많은 도움이 될 것"이라면서 "첨단 측정 및 검사 기술을 습득할 수 있는 환경은 학생들의 진로와 취업에 영향을 줄 것이다"고 말했다.

유우식 대표는 "지난 수년간 미국, 일본에서 진행한 산학협력의 경험을 바탕으로 선문대와도 좋은 결실을 보도록 하겠다"라고 밝혔다.

선문대 차세대반도체기술연구소는 국내 반도체와 디스플레이 분야의 기업, 대학, 연구소 등과 함께 ‘나노반도체 및 디스플레이 MI기술포럼’을 2009년부터 매년 개최해왔다.

MI 기술은 반도체 및 디스플레이 공정에서 미세구조를 계측(Metrology), 검사(Inspection)하는 기술이다.

반도체 및 디스플레이 기술이 발전함에 따라 회로 및 패턴 구조가 미세하게 되고 미세 구조의 불량을 방지하기 위해 측정 및 검사의 중요성이 커짐에 따라 측정·검사기술이 전체 생산 공정의 50%를 차지하고 있다.

아산=김정모 기자 race1212@segye.com